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2017년 차세대리소그래피 학술대회 우수논문 수상자 명단

학술담당 hit 981 date 2017-09-29
No. 수상내역
구두 발표/
포스터 발표
논문제목 성명 소속
1 ASML 신진 학술상 구두 Patterning of metal electrodes by applying laser reductive sintering process on metal oxide nanoparticle thin films 이대호 가천대
2 ASML 신진 학술상 구두 실크 단백질 필름 위 리소그래피 패터닝 김성환 아주대
3 최우수 논문상 구두 자외선을 이용한 극자외선 마스크 검사가 가능한 극자외선 펠리클 구조를 찾아서 이성규 한양대
4 최우수 논문상 구두 Anamorphic optics를 이용한 near-field microscope용 고효율 dark-field 조명계 개발 한우준 명지대
5 최우수 논문상 포스터 Fabrication of tapered-membrane contact probe array for plasmonic lithography 장진희 연세대
6 최우수 논문상 포스터 Si 디플렉터 구조의 초소형 전자칼럼의 특성 이영복 선문대
7 우수 논문상 구두 연속적 소성각인 기반 나노패터닝 공정 최적화 및 맞춤형 응용 이승조 서울과학기술대학교
8 우수 논문상 구두 팁-틸트 거울을 이용한 다중초점 광학 현미경 이미지 획득에 대한 연구 A Study on Image Acquisition in Through-focus Scanning Optical Microscopy(TSOM) using a Tip-Tilt Mirror 박규남 공주대학교
9 우수 논문상 포스터 후처리 없이 선택적 코팅을 가능하게 하는 유·무기·하이브리드 재료 코팅 기술 이정혜 KAIST
10 우수 논문상 포스터 적외선 영역에서의 이중 주파수 대역을 지닌 입자 기반의 메타물질 설계 및 시뮬레이션 이창민 연세대
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