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2021년도 차세대 리소그래피 학술대회 우수학생논문상 수상자 명단

사무국 hit 120 date 2021-11-25

구분

논문제목

발표자 (소속)

시상내역

최우수상

고체내에서의 고차조화파 위상 정합을 이용한 극자외선 빔 제어

최승만 (KAIST)

상장 및 상금 1,000,000원

우수상

펠리클 주름에 의한 반사도 변화와 패턴 임계치수에 미치는 영향 연구

문승찬 (한양대)

상장 및 상금 500,000원

Dose 량 및 감광제를 포함한 박막층에 따른 극자외선 노광에 의한 웨이퍼의 열적 변형

고희창 (한양대)

혁신논문상

Highly fluorinated alternating copolymers as EUV resist candidates

구예진 (인하대)

상장 및 상품권 100,000원

극자외선 펠리클의 처짐에 대한 잔류 응력의 영향

강영우 (한양대)

Eco-friendly deep ultraviolet photolithography using silk photoresist

최주완 (아주대)

고 개구수 극 자외선용 phase shift mask 를 위한 최적의 phase shift 와 reflectance

박장군 (한양대)

패터닝 된 이황화 몰리브덴 나노 필름을 이용한 웨어러블 습도 센서 연구

김은진 (조선대)

 

※ 차세대 리소그래피 학술대회 우수학생논문상을 후원해 주신 ASML에 감사드립니다. 

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