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[하이라이트 논문] 한국광학회지 Vol. 34 No.3 (2023 June)

사무국 hit 707 date 2023-06-23

고해상도 표면 측정을 위한 회전 프리즘 정합 간섭계
Rotational Prism Stitching Interferometer for High-resolution Surface Testing

송인웅1ㆍ권우성1,3ㆍ김학용1,2ㆍ이윤우1ㆍ이종웅3ㆍ양호순1,2†

 

한국광학회지  Vol. 34 No.3 (2023 June) pp. 117-123
DOI: https://doi.org/10.3807/KJOP.2023.34.3.117

 


 



Fig. 1  System layout of the rotational prism stitching interferometer (RPSI). QWP,quarter-wave plate; PBS, polarizing beam splitter.

 


 

Keywords: 간섭계, 회전 프리즘, 부분 구경 정합법, 표면 형상 측정
OCIS codes: (120.3180) Interferometry; (120.3940) Metrology; (120.6650) Surface measurements, figure

 


 

초록
반사경의 광학면이 넓어질수록 높은 공간 주파수 형상이 광학계의 성능에 큰 영향을 주므로, 대형 반사경 성능 평가에서 이를 측정할 수 있어야 한다. 따라서 높은 주파수의 형상을 샘플링할 수 있는 고해상도 형상 측정 시스템이 필요하다. 본 연구에서는 반사경의 고해상도 형상 측정을 위한 회전 프리즘 정합 간섭계(rotational prism stitching interferometer, RPSI)라는 새로운 방법을 제안한다. RPSI는 기존에 사용되고 있는 상용 간섭계에 빔 확장 렌즈, 이송 거울, 회전 프리즘 등을 추가하여 구성되었으며, 간섭계를 움직이지 않고 원통 좌표계를 기준으로 전체 구경을 아우르는 부분 구경 형상들을 측정한다. 측정된 부분 구경들은 최소자승법을 이용한 부분 구경 정합법을 이용하여 정합되며, 빔확장 렌즈 배율의 제곱만큼 높은 샘플링 밀도로 전체 구경 형상 정보를 복원 가능하다. 3배율을 가지는 RPSI를 이용하여 직경 40 mm의 구면 반사경 형상을 측정하였고, 간섭계 단독으로 측정한 전체 구경 형상과 비교 검증하였다. 약 1 nm RMS의 근소한 차이로 유사한 형상을 잘 복원할수 있었으며, 간섭계 단독으로 사용한 형상 측정 결과보다 렌즈의 배율의 제곱배만큼 향상된 샘플링 밀도로 형상 측정이 가능함을 확인하였다.
 
Abstract
The size of an optical surface can significantly affect the performance of an optical system, and high spatial frequency errors have a greater impact. Therefore, it is crucial to measure the surface figure error with high frequency. To address this, a new method called the a rotational prism stitching interferometer (RPSI) is proposed in this study. The RPSI is a type of stitching interferometer that enhances spatial resolution, but it differs from conventional stitching interferometers in that it does not require the movement of either the mirror tested or the interferometer itself to obtain sub-aperture interferograms. Instead, the RPSI uses a beam expander and a rotating Dove prism to select particular sub-apertures from the entire aperture.These sub-apertures are then stitched together to obtain a full-aperture result proportional to the square of the beam expander's magnification. The RPSI's effectiveness was demonstrated by measuring a 40 mm diameter spherical mirror using a three-magnification beam expander and comparing the results with those obtained from a commercial interferometer. The RPSI achieved surface testing results with nine times higher sampling density than the interferometer alone, with a small difference of approximately 1 nm RMS.

 

첨부파일
KJOP Vol. 34, No. 3 (2023 June)_pp. 117-123.pdf