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2023년도 차세대 리소그래피 학술대회 우수학생논문상 수상자 명단

사무국 hit 567 date 2023-09-06

구분

논문제목

발표자 (소속)

시상내역

최우수상

수직분자선 구조의 다층분자막 EUV 포토레지스트 소재 개발

지현석 (한양대)

상장 및 상금 1,000,000원

우수

리소그래피를 위한 실시간 파면 측정 센서

박효미 (조선대)

상장 및 상금 500,000원

고개구수 극자외선 노광공정에 적용가능한 합금형 Pt-W 마스크 흡수 소재 연구

이승호 (한양대)

Real-time Deformation Compensation Technique in DMD-based Maskless Lithography

최진수 (KAIST)

혁신논문상

MoSi2 EUV 펠리클의 결정성에 따른 열적 하중 인가로 인한 물성 변화 영향 분석

김하늘 (한양대)

상장 및 상품권 100,000원

Fabrication of Optical Fourier Elements Using Holographic Printing System

임용준 (고려대)

Development of a new nanoscale analysis method for edge structures from super-resolution fluorescence images of line-patterned semiconductors

고가은 (한양대)

존스 행렬을 이용한 분광 타원계측기 광학계 보정

서선일 (조선대)

p-n 이종접합 Si/MoS2 광센서

김용원 (조선대)

 

차세대 리소그래피 학술대회 우수학생논문상을 후원해 주신 ASML과 연사료를 학생논문상 상금으로 희사해 주신

G. Andrew Antonelli (Onto Innovation) 박사님, Ulrich Klostermann (Synopsys) 박사님께 진심으로 감사드립니다.

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