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2022년도 차세대 리소그래피 학술대회 우수학생논문상 수상자 명단

사무국 hit 1312 date 2022-08-25

구분

논문제목

발표자 (소속)

시상내역

최우수상

Optical Design of High-Resolution DUV Objective lens for Semiconductor Inspection equipment

김도희 (공주대)

상장 및 상금 1,000,000원

우수상

Design of DNA origami crystals and their applications

박성훈 (고려대)

상장 및 상금 500,000원

EUV Phase Shift Mask 위상특성 제어를 통한 마스크 이미징 성능 향상 기술 연구

정동민 (한양대)

혁신논문상

Method for enhancing the patterning speed and precision in DMD-based maskless lithography

최진수 (KAIST)

상장 및 상품권 100,000원

패턴 품질 및 노광량을 고려한 최적의 high NA 용 mask 구조 제시

박장군 (한양대)

Lithography Hotspot Pattern Synthesis Using Generative Network with Hotspot Probability Model

최병호 (KAIST)

Non-destructive defect penetration depth estimation via model-less NIR TSOM

이정빈 (공주대)

Plenoptic 1.0 and 2.0 Spatial Resolution Comparative Analysis through Modeling

연하늘 (공주대)

 

※ 차세대 리소그래피 학술대회 우수학생논문상을 후원해 주신 ASML에 감사드립니다. 

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